ogrzewanie reaktora MOVD z indukcją
Reaktory do nagrzewania indukcyjnego metaloorganicznego chemicznego osadzania z fazy gazowej (MOCVD) to technologia mająca na celu poprawę wydajności ogrzewania i zmniejszenie szkodliwego sprzężenia magnetycznego z wlotem gazu. Konwencjonalne reaktory MOCVD z nagrzewaniem indukcyjnym często mają cewkę indukcyjną umieszczoną na zewnątrz komory, co może skutkować mniej wydajnym ogrzewaniem i potencjalnymi zakłóceniami magnetycznymi w systemie dostarczania gazu. Ostatni … Czytaj więcej